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二氧化硅陶瓷通過(guò)添加SiO2超微粉末,成功地實(shí)現(xiàn)了SiO2陶瓷的低溫?zé)Y(jié)。在12 50°C的溫度下,獲得了密度接近理論值的高純SiO2陶瓷靶材、對(duì)于不同微粉含量的靶材進(jìn)行了斷口形貌分析及其密度的比較。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,超微粉的添加對(duì)SiO2低溫下的致密燒結(jié)有明顯的促進(jìn)效果。
1、常壓燒結(jié)法制備ZnO陶瓷靶材。
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